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微細加工システムグループ(マイクロ・ナノシステム工学専攻併担)

マイクロマシニング技術を応用したマイクロ・ナノメカトロニクス(マイクロ・ナノシステム工学専攻併担)

  • 教授:秦 誠一
  • 准教授:櫻井 淳平
  • 助教:溝尻 瑞枝

マイクロ・ナノメカトロニクス(MEMS)産業基盤の確立を目指して、ホトリソグラフィ、エッチング、薄膜形成などの微細加工技術に立脚したマイクロマシンづくりを進める。システムの微細化で発現する新現象の追求を通じてナノ・マイクロ理工学を研究する。

微細加工システムグループ
未来の注射針:高密度な針配列をマイクロマシニング技術で実現

◆3次元マイクロ・ナノ構造体の製作プロセスの研究
◆微細な構造体の機械的強度の計測・評価法の研究
◆マイクロセンサとその応用システムの創出
◆マイクロアクチュエータとその応用システムの創出
◆マイクロデバイスの医療応用

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